ISO 13694 目前有效版本为 ISO 13694:2018(第 3 版),2023 年再次确认继续有效 。
标准全称:
Optics and photonics — Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam power (energy)
density distribution
(光学与光子学——激光及激光相关设备——激光束功率(能量)密度分布的试验方法)
适用范围
适用于连续波(CW)和脉冲激光束;
规定在某一给定横截面上测量激光功率(能量)密度分布的方法;
可用于激光器性能测试、光学元器件检测以及激光加工、医疗、通信等应用领域 。
主要技术内容
测量原理
在垂直于传播方向的平面内,获取功率密度(CW)或能量密度(脉冲)随横向坐标的分布。可采用五种常用手段:
一维/二维相机阵列、可变孔径、针孔、狭缝和刀口法 。
关键定义与参数
功率(能量)密度分布、最大值、剪切级(clip-level)密度;
剪切级功率(能量)、分数功率(能量)、重心、束宽、椭圆度、均匀性、平台均匀性、边缘陡度等 。
测量与评价流程
坐标系与测试布置(探测器、衰减器、环境控制);
探测器空间与功率(能量)校准;
背景噪声扣除(背景图或平均背景减法);
选取积分限、优化背景修正;
计算上述空间特性参数并编制测试报告 。
与其他标准的关系
引用 ISO 11145(术语符号)、ISO 11146(束宽与 M²)、ISO 11554(功率能量时域特性)及 IEC 61040(探测器规范)。
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